製品紹介

HOME > 製品紹介 > ユニットタイプ紫外線洗浄改質装置

大型液晶パネルなど各種サイズに対応が可能で、クリーン対策も万全です。

特徴

型式 PL2002R-4
照射エリア 1000×650mm
使用ランプ EUV-200US
ランプ本数 21本
照射強度(距離10mm時) 20mw/cm2

ワークサイズや不活性ガス注入等、最適な仕様にカスタマイズ致します。

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