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製品紹介
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ユニットタイプ紫外線洗浄改質装置
大型液晶パネルなど各種サイズに対応が可能で、クリーン対策も万全です。
型式
PL2002R-4
照射エリア
1000×650mm
使用ランプ
EUV-200US
ランプ本数
21本
照射強度(距離10mm時)
20mw/cm2
ワークサイズや不活性ガス注入等、最適な仕様にカスタマイズ致します。