カセットtoカセットで処理を行い、搬送をウォーキングビームで行うことにより、クリーンな環境下でのガラスの表面洗浄(ITO, SIO2)が可能です。
- 基本スペック
型式 PL3-2006C 照射エリア 450×750mm 使用ランプ EUV-200NS ランプ本数 10本
※オプションにてツバ付きコロSUSタイプ・ヒーター等の追加変更可能です。ガラスサイズや生産タクト等により、最適な仕様にカスタマイズ致します。
搬送をステンレスメッシュベルトのコンベアで行うタイプです。生産するワーク形状や生産タクトにより、各種ご使用いただけます。
- 基本スペック
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型式 SSP-8 照射エリア 400×1500mm 使用ランプ EUV-200DS ランプ本数 8本
※ワークサイズや生産タクト等により、最適な仕様にカスタマイズ致します。
搬送を自走式ステンレスコロ ( ツバ付き、ローラー ) で行うタイプです。クリーン度の高い製品の生産に各種ご使用いただけます。
- 基本スペック
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型式 PM1101C-1 照射エリア 240×825mm 使用ランプ SUV-110NS ランプ本数 10本
※ワークサイズや生産タクト等により、最適な仕様にカスタマイズ致します。
カセットtoカセットで処理を行い、搬送をワイヤーコンベアで行うことにより、各種サイズのL/Fに対応が可能で、クリーン対策も万全です。
- 基本スペック
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型式 PL3-20014X1 照射エリア 640×1160mm 使用ランプ EUV-200DS ランプ本数 8本
※リターンタイプや多列タイプの変更可能です。
ワークサイズや生産タクト等により、最適な仕様にカスタマイズ致します。
トレイ引き出しにより、ワークの洗浄改質が簡単にできるタイプです。
- 基本スペック
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型式 PL1-908S 照射エリア 400×400mm 使用ランプ SUV-90US ランプ本数 8本
※オプションにてシャッター機構・ターンテーブル等の追加可能です。
500mm□や600mm□等、最適な仕様にカスタマイズ致します。
真空環境下各種ワークに短波長紫外線が照射できるタイプです。脱酸素雰囲気下での改質やガス注入・排気による洗浄が可能です。
- 基本スペック
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型式 PL-1107A 照射エリア 300×400mm 使用ランプ SUV-110US ランプ本数 7本
※主な使用例： レンズ・プリズム
ワークサイズや真空度等、最適な仕様にカスタマイズ致します。
洗浄改質の実験あるいは少量生産用の装置として、手軽にご利用いただけます。
- 基本スペック
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型式 PL16-110 照射エリア 160×160mm 照射強度 5mw/cm2
( 距離10～14mm )照射距離 0～80mm(手動ラボジャッキ調整)
※オプションにて常時通電安定器やターンテーブル等の追加変更可能です。
その他200mm□や300mm□タイプもあります。
